Für die Herstellung kleinster Strukturen werden im Laboratorium vielfältigste Techniken verwand, wobei die Weiterentwicklung und das Verständnis dieser Techniken zum Teil selbst Gegenstand der Forschung sind.
Die verwendeten Strukturierungstechniken sind zum Beispiel Fotolithographie, Elektronenstrahllithographie, Oberflächen-Laserstrukturie... 3D Two-Photon Lithographie, Oberflächenbearbeitung mit dem Rasterkraftmikroskop, Strukturierung mit dem Rastertunnelmikroskop und Hot- Embossing.
Hinzu kommen die Dünnschichttechniken der Halbleitertechnologie wie Aufdampfen, Sputtern, Tempern, CVD, MBE, Implantieren von Ionen, Oxidation und Ätzprozesse ( Plasmaätzen, Ätzen mit RIE und Nasschemisches Ätzen ).
www.lnqe.uni-hannover.deThe further development and understanding of these techniques is in part the subject of the research.
The structuring techniques are for example photolithography, electron beam lithography, laser surface structuring, 3D two-photon lithography, surface processing with an atomic force microscope, patterning with the scanning tunneling microscope and hot-embossing.
In addition the thin film techniques of semiconductor technology are used such as evaporation, sputtering, annealing, CVD, MBE, implanting ions, oxidation and etching processes ( plasma etching, etching with RIE and wet chemical etching ).
www.lnqe.uni-hannover.deAm Fraunhofer ISE können wir Mikro- und Nanostrukturen durch thermoplastisches Heißprägen und durch reaktive UV-Replikation abformen.
Eine zusätzliche Möglichkeit stellt der Einsatz von Silikonmaterialien dar, mit welchen wir Mikro- und Nanostrukturen direkt ab Photoresist oder ab einem metallischen Werkzeug in flexible, transparente oder opake Materialien replizieren können („Soft Embossing“).
www.ise.fraunhofer.deAt Fraunhofer ISE, we can form microstructures and nanostructures by means of thermoplastic hot embossing and reactive UV replication.
An additional option involves using silicon materials with which we can replicate micro and nanostructures directly from a photoresist or a metallic tool in flexible, transparent or opaque materials ("soft embossing").
www.ise.fraunhofer.deNach dem Abwickeln erfolgt zumeist ein Belackungsschritt, bei dem das zu strukturierende Material ( z. B. mittels Gravurdruck ) aufgebracht und, bei Bedarf, vorgetrocknet wird.
Dann werden die notwendigen Strukturierungsschritte mittels Nanoprägeverfahren in verschiedenen Ausformungen wie Hot Embossing oder UV-Imprinting durchgeführt.
Bei komplexeren Strukturen wie optoelektronischen Bauelementen sind aufwändigere Abfolgen verschiedener Beschichtungs- und Strukturierungsschritte notwendig, da mehrere Lagen unterschiedlicher Materialien aufgebracht und entsprechend strukturiert werden müssen.
www.joanneum.atIn most applications a coating will be applied first ( i.e. via gravure printing ).
Within the next process steps the desired nanostructures will be generated by the means of hot embossing or UV-imprinting.
A series of coatings and structuring processes as well as a combination of different materials is necessary to deliver more complex structures like optoelectronic components.
www.joanneum.atBi želeli dodati besedo, frazo ali prevod?
Predlagajte nov vnos.