Zieht man wieder den Vergleich zum Billard, wäre es, als lege man ein paar größere Kugeln hinzu.
Trifft nun ein Edelgasatom auf die Oberfläche, » bremsen « die größeren Wismut-Atome den Stoß ein wenig ab, die Stoßkaskade dringt nicht so tief in das Titan ein, es geht weniger Energie verloren.
Einen Prototypen der Sputteranlage hat Szyszka bereits realisiert, die Titantargets darin sind 75 Zentimeter lang.
www.ist.fraunhofer.deAgain making the pool table comparison, it is as if a few larger balls were put on the table as well.
When a noble gas atom now hits the surface, the larger bismuth atoms » brake « the impact a little, the impact cascade does not go so deep into the titanium and less energy is wasted.
Szyszka has already built a prototype of the sputtering system which has titanium targets 75 cm in length.
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