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microsistema

Mikrosystem nt

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nemščina

Eingesetzt wird das Verfahren unter anderem zur Herstellung von Leiterbahnebenen oder Kontaktflächen bei der Fertigung von integrierten Schaltungen (ICs) und Mikrosystemen.

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Anwendungsgebiete liegen auf Grund der günstigen Hochfrequenzeigenschaften in der Mobilfunk-, Satelliten-, Mikrosystem- und Medizintechnik sowie der Autoindustrie (Steuergeräten).

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Optische Anwendungen für Mikrosysteme sind beispielsweise Bausteine in Videoprojektoren, die zur Darstellung von Bildern genutzt werden (siehe Mikrospiegelaktor).

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Für die Herstellung komplexer Mikrosysteme werden daher Verfahren und Methoden aus unterschiedlichen Mikrotechniken kombiniert.

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In Mikrosystemen wirken Sensoren, Aktoren und Datenverarbeitung zusammen.

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Über 90 % der Innovationen im Automobil resultieren aus dem Einsatz von elektronischen Komponenten und Mikrosystemen.

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Der Einsatz von Mikrosystemen ist überall dort denkbar und sinnvoll, wo Sensoren/Aktoren und Elektronik zusammenarbeiten.

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Seit 2007 nimmt er auch die Position des Direktors des Instituts für Mikrosystem- und Halbleitertechnik ein.

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Plasmaätzen ist ein materialabtragendes, plasmaunterstütztes Trockenätz-Verfahren, das besonders in der Halbleiter-, Mikrosystem- und Displaytechnik großtechnisch eingesetzt wird.

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Weitere Anwendungsbereiche liegen im Bereich der Nanotechnologie, beispielsweise bei der Herstellung von Mikrosystemen, wie Mikroreaktoren.

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